3d白光輪廓儀是一種用于材料科學(xué)領(lǐng)域的分析儀器,，也叫白光干涉儀,。它能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,，非接觸測量樣品表面形貌，廣泛應(yīng)用于光學(xué),，半導(dǎo)體，材料,，精密機(jī)械等等領(lǐng)域，用于表面形貌紋理,，微觀結(jié)構(gòu)分析。

中圖儀器SuperView W1 光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測量。采用的光學(xué)非接觸式測量方法,，以及具有的測量精度高,、使用方便,、分析功能強(qiáng)大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn),，加上其*的光源模式，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測,。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.雙通道氣浮隔振系統(tǒng)大幅減小了環(huán)境振動的影響，還可以降低高精度量測時的噪聲,，提高超光滑表面的測試精度。

2.一體化操作的測量分析軟件自動對焦樣品表面,，自動智能配置測試參數(shù),，使原來麻煩的“找條紋"，“選擇測試參數(shù)"過程,，在一分鐘之內(nèi)，自動完成,。

3.雙重防撞保護(hù)功能,，除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，能保護(hù)樣品和設(shè)備的安全。

軟件功能

(1) 提供多種數(shù)據(jù)處理方式,。

提供校平、鏡像,、旋轉(zhuǎn)等操作調(diào)整圖像位置；

提供空間濾波,、標(biāo)準(zhǔn)濾波、閾值糾正,、去除形狀、頻譜變換等濾波操作對數(shù)據(jù)進(jìn)行修正,；

提供提取區(qū)域、提取剖面,、抽取輪廓等操作獲取檢測區(qū)域,。

(2) 提供多種分析工具,。

提供距離,、臺階高度等要素測量；

提供點(diǎn),、線、圓弧,、角度等特征測量，以及直線度,、真圓度等形位公差評定,，為用戶展現(xiàn)強(qiáng)大的輪廓分析功能；

提供基于表面的紋理分析，方便地觀察紋理方向與紋理均質(zhì)性,；

提供圖形分析,、島嶼分析、分形分析,、頂點(diǎn)計數(shù),、孔的體積等多種有針對性的分析功能；

提供頻譜分析功能,，可獲取幅度和相位信息,、平均功率譜密度信息、自相關(guān)性等,；

提供全面的線粗糙度,、面粗糙度的參數(shù)分析功能；

提供依據(jù)四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)(ISO/ASME/EUR/GBT)計算的2D,，3D參數(shù),。

(3) 可視化的工作流模式，數(shù)據(jù)處理器和結(jié)果管理器具有可視工作流程樹圖,，在每個節(jié)點(diǎn)既可以是數(shù)據(jù)處理選項也可以是分析結(jié)果。

(4) 多樣化的視圖觀察角度,，3D視圖可以清晰地查看被測物的每一個特征，并可以在3D視圖,、2D投影圖、等高線圖之間任意切換,。

(5) 內(nèi)置多種分析方案，可對特定表面進(jìn)行一鍵分析,，自動生成一組分析結(jié)果,，節(jié)約操作時間,；并可自定義方案,，將用戶的分析項目組合起來,，避免重復(fù)操作。

(6) 便捷的同步分析功能，可實(shí)時提取表面二維剖面,，同步計算更新參數(shù)指標(biāo)，實(shí)現(xiàn)對樣品的操作所見即所得,。

(7) 擁有多種報表形式，用戶可根據(jù)需要導(dǎo)出分析結(jié)果到Word,、Pdf等常用辦公軟件中。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的3d白光輪廓儀分辨率0.1μm,，重復(fù)性0.1%，可為樣品表面測量提供快速,，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數(shù),。可以用于測試各類表面,。比如透明的玻璃表面，加上增透膜,，其反射率小于1%；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面,。

深圳市中圖儀器股份有限公司是高新技術(shù)企業(yè)，致力于精密測量,、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,。

自成立以來一直以“致力于精密測量,、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā),、生產(chǎn)和銷售"為使命，在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究十幾年,，如今在微納米運(yùn)動設(shè)計制造、微納米顯微測量三維重建,、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量,、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了*的設(shè)計,、制造優(yōu)勢，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力,。